[发明专利]压电半球谐振微陀螺仪的数字控制检测系统

摘要

本发明提供一种压电半球谐振微陀螺仪的数字控制检测系统，包括压电半球谐振微陀螺仪模块、电荷放大器模块、ADC模块、DAC模块、数字信号处理模块和输出或保存模块，其中：电荷放大器模块将压电半球谐振微陀螺仪模块产生的电荷信号转换为电压信号；ADC模块将接收到的模拟信号转换为数字信号；数字信号处理模块处理接收到的数字信号，处理结果一部分对外显示或保存，一部分作为反馈信号输出；DAC模块将反馈信号从数字信号转换为模拟信号从而反馈给压电半球谐振微陀螺仪模块；压电半球谐振微陀螺仪模块在给定反馈信号下被激振或被驱动并产生检测信号。本发明实现了对压电半球谐振微陀螺仪的稳幅稳频控制和数字检测。

主权项

1.一种压电半球谐振微陀螺仪的数字控制检测系统，其特征在于，包括压电半球谐振微陀螺仪模块、电荷放大器模块、ADC模块、DAC模块和数字信号处理模块，其中：所述电荷放大器模块将所述压电半球谐振微陀螺仪模块产生的电荷信号转换为电压信号，并传输给所述ADC模块；所述ADC模块将从所述电荷放大器模块接收到的模拟信号转换为数字信号，并传输给所述数字信号处理模块；所述数字信号处理模块将从所述ADC模块接收到的数字信号进行处理，处理的结果一部分作为结果对外进行显示或保存，一部分作为反馈信号向所述DAC模块输出；所述DAC模块将由所述数字信号处理模块产生的反馈信号从数字信号转换为模拟信号，反馈给所述压电半球谐振微陀螺仪模块；所述压电半球谐振微陀螺仪模块在所述DAC模块给定的反馈信号下被激振或被驱动，并产生检测信号；所述的压电半球谐振微陀螺仪模块具有半球壳，该半球壳上均匀分布有八个金属电极，依次为第一驱动电极、第一检测电极、第一监测电极、第一平衡电极、第二驱动电极、第二检测电极、第二监测电极和第二平衡电极，其中：在第一驱动电极、第二驱动电极上施加一个与压电半球谐振微陀螺仪模块谐振频率同频的正弦电压信号，将压电半球谐振微陀螺仪模块激振；压电半球谐振微陀螺仪模块被激振后，在两个监测电极上将产生与驱动信号同频的电荷信号，在两个检测电极上将产生由与驱动信号同频定幅值的信号和与驱动信号同频且幅值和压电半球谐振微陀螺仪模块输入角速度正相关的信号所叠加的信号，在两个平衡电极上将产生由与驱动信号同频定幅值的信号和与驱动信号同频且幅值和压电半球谐振微陀螺仪模块输入角速度正相关的信号所叠加的信号，上述信号根据需要输入所述电荷放大器模块。