[发明专利]低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法

摘要

本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵系统具备：低温泵(10)；及再生控制部(102)，根据包括排出处理的再生顺序控制低温泵(10)，所述排出处理为从低温泵(10)排出冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行低温泵(10)的粗抽。再生控制部(102)具备：压力下降率运算部(114)，运算出低温泵(10)粗抽中的低温泵(10)内的压力下降率；及压力下降率监视部(116)，检测出粗抽中的压力下降率的缩小。

主权项

1.一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵；及再生控制部，根据包括排出处理的再生顺序控制所述低温泵，所述排出处理为从所述低温泵排出包括水的冷凝物的排出处理，在所述排出处理中执行交替进行所述低温泵的粗抽和吹扫气体的供给的粗抽及吹扫，所述再生控制部具备：压力下降率运算部，运算出所述低温泵粗抽中的所述低温泵内的压力下降率；及压力下降率监视部，在所述压力下降率小于压力下降率阈值时检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小，在检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小时，所述再生控制部中断所述粗抽或开始吹扫，从而抑制所述包括水的冷凝物的再冻结；其中，所述再生顺序包括升温处理，在该升温处理中，将所述低温泵从超低温度加热至所述冷凝物的融点或比该融点更高的温度，所述再生控制部具备相变推断部，所述相变推断部在检测出所述粗抽中的所述压力下降率的缩小时推断所述冷凝物再次冻结。