[发明专利]根据多个待测点的水平位置调整探针的位移距离的方法

摘要

本发明是一种根据多个待测点的水平位置调整探针的位移距离的方法，该方法是应用至一点测装置，使该点测装置执行一等压调校程序，令驱动装置能移动多支探针，进而使该等探针的针尖分别触压多个待测点，且使该点测装置分别接收探针施加至待测点的一点测压力，然后，判断该等点测压力间的一差值，是否位于内建的一门坎值范围内，若是，即完成该等压调校程序；否则，驱动该驱动装置，进一步调校各该探针的针尖与对应的各该待测点间的距离。如此，即可有效避免因点测压力过大或过小，而造成待测物损坏或影响点测的精准度。

主权项

1.一种根据多个待测点的水平位置调整探针的位移距离的方法，其特征在于，该方法应用至一点测装置上，该点测装置包括一承载台、多个针座、至少两个摄像单元及一控制单元，其中，该承载台的顶部平置有至少一待测物，该承载台能被一第一驱动装置带动位移，该待测物上至少有多个待测点，各该针座设于该承载台上方，能分别被一第二驱动装置带动位移，各该针座上分别设有一探针，该探针能随着该承载台或该针座的位移，而抵靠至对应的待测点，其中一个摄像单元能提取该承载台的影像，另一个摄像单元能提取该探针的影像，该控制单元能够接收该等摄像单元的截取影像，且分别与该第一驱动装置及该等第二驱动装置相电气连接，以使该第一驱动装置及该等第二驱动装置能分别驱动对应的该承载台与该等针座的位移位置，该方法使该控制单元执行下列步骤：执行一等高调校程序，且根据该等摄像单元的截取影像或至少一压力感测单元产生的感测数值，驱动该等第二驱动装置，以调整该等探针的针尖位置；执行一等压调校程序，驱动该等第二驱动装置或该第一驱动装置，使该等探针的针尖分别触压对应的该等待测点，且分别接收各该压力感测单元所感测到的该探针施加至对应的该待测点的一点测压力；及计算出该等点测压力间的一差值，且判断该差值是否位于内建的一门坎值范围内，若是，即完成该等压调校程序；否则，驱动各该第二驱动装置，以调校各该探针的针尖与对应的各该待测点间的距离，直到该差值落在该门坎值范围内，完成该等压调校程序。