[发明专利]压电元件的驱动方法以及压电元件及压电元件应用装置有效

专利信息
申请号: 201610056387.1 申请日: 2016-01-27
公开(公告)号: CN105835528B 公开(公告)日: 2020-05-01
发明(设计)人: 横山直人 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/14 分类号: B41J2/14;H01L41/083
代理公司: 北京金信知识产权代理有限公司 11225 代理人: 黄威;苏萌萌
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供了一种能够对因压电体层的氧缺损的偏析而引起的压电元件的劣化进行抑制,并能够长时间良好地对压电元件进行驱动的压电元件的驱动方法。在压电元件(300)的驱动方法中,所述压电元件(300)具备:第一电极(60);压电体层(70),其被形成在第一电极(60)上,且由ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成;第二电极(80),其被形成在压电体层(70)上,在通过预定的驱动波形而对压电元件(300)进行了预定次数的驱动后,使驱动波形的极性反转并对该压电元件(300)进行驱动。
搜索关键词: 压电 元件 驱动 方法 以及 应用 装置
【主权项】:
一种压电元件的驱动方法,其特征在于,所述压电元件具备:第一电极;压电体层,其被形成在所述第一电极上,且由ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成;第二电极,其被形成在所述压电体层上,在所述压电元件的驱动方法中,在以预定的驱动波形而对所述压电元件进行了预定次数的驱动后,使所述驱动波形的极性反转并对所述压电元件进行驱动。
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