[发明专利]一种光电‑静电复合驱动微平台装置

摘要

本发明公开了一种光电‑静电复合驱动微平台装置，包括粗动台、X方向位移调节平台、Y方向位移调节平台、Z方向位移调节机构、T型微平台、滑轮导轨机构、梳齿致动器、光电陶瓷双晶片、机械滑块、导线。在粗动台定位后，Y方向光电陶瓷双晶片在紫外光源照射下产生静电电压并施加在Y方向梳齿致动器上产生驱动力，经过位移放大机构推动Y方向位移调解平台进行Y方向位移调节；同理，X方向梳齿致动器推动X方向位移调节平台进行X方向位移调节。Z方向位移调节中通过施加于平行板的静电电压使其旋转进行竖直方向位移调节。本发明的光电—静电复合驱动微平台装置结构简单紧凑，可实现多自由度调节和光控非接触驱动，响应速度快，适用于多种场合。

主权项

一种光电‑静电复合驱动微平台装置，其特征在于，包括粗动台[1]、Y方向驱动机构、Y方向导轨机构[4]、Y方向机械滑块[5]、Y方向位移调节平台[7]、X方向驱动机构、X方向导轨机构[15]、X方向位移调节平台[14]和X方向机械滑块[16]；所述Y方向导轨机构[4]包括两根导轨，该两根导轨对称设置在粗动台[1]Y方向中轴线的两侧，Y方向位移调节平台[7]位于两根导轨的上方并在Y方向驱动机构的驱动下沿导轨运动，该Y方向驱动机构包括两个关于粗动台[1]Y方向中轴线对称设置的致动机构，每个致动机构均包括通过导线连接的Y方向梳齿致动器[2]和Y方向光电陶瓷双晶片[3]，每个致动机构均位于导轨的外侧，Y方向梳齿致动器[2]通过对应的Y方向位移放大机构[6]与Y方向机械滑块[5]相连，Y方向机械滑块[5]的另一端与Y方向位移调节平台[7]相连；Y方向位移调节平台[7]上设置X方向导轨机构[15]，所述X方向导轨机构[15]包括两根导轨，该两根导轨对称设置在Y方向位移调节平台[7]X方向中轴线的两侧，X方向位移调节平台[14]位于两根导轨的上方并在X方向驱动机构的驱动下沿导轨运动，该X方向驱动机构包括两个关于Y方向位移调节平台[7]X方向中轴线对称设置的致动机构，每个致动机构均包括通过导线连接的X方向梳齿致动器[10]和X方向光电陶瓷双晶片[9]，每个致动机构均位于导轨的外侧，X方向梳齿致动器[10]通过对应的X方向位移放大机构[8]与X方向机械滑块[16]相连，X方向机械滑块[16]的另一端与X方向位移调节平台[14]相连；在紫外光源照射下，Y方向位移调节平台[7]上的光电陶瓷双晶片[9]产生静电电压施加在X方向梳齿致动器[10]上，然后经过位移放大机构[8]来实现X方向的位移调节；粗动台[1]上的光电陶瓷双晶片[3]产生静电电压施加在Y方向梳齿致动器[2]上，然后经过位移放大机构[6]来实现Y方向的位移调节。