[发明专利]光学分光分析装置有效
| 申请号： | 201610059086.4 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN105824041B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 尹日求;李相明 | 申请（专利权）人： | 延世大学校产学协力团 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G01T1/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 姜燕;王卫忠 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及光学分光分析装置，提供一种光学分光分析装置，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过光传递部提供的光，分析等离子体状态；光收集部对在等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给光传递部。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 分光 分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学分光分析装置，其特征在于，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过所述光传递部提供的光，分析等离子体状态；所述光收集部包括集光部，所述集光部对在所述等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给所述光传递部，所述集光部包括凹透镜，所述凹透镜使从所述等离子体工艺腔的内部入射的光的入射角范围扩张，来对所述光进行聚光，所述凹透镜具有水平方向的曲率比上下方向的曲率更大的结构。
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