[发明专利]电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法

摘要

电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法,包括原料准备、基体准备、电弧喷涂和后加工，选取直径为Φ2.0mm的高纯度锌合金金属丝为电弧喷涂材料；选取适合尺寸的钢管进行机加工,作为旋转靶材的内衬管；采用电弧喷涂工艺，克服现有金属旋转靶材生产工艺的不足；涂层材料具有一致的质量和纯度，施工前不需要混合；涂层结台强度高，不会产生流挂，改善电弧喷涂涂层质量；靶材长度不受限制，同时具有稳定优良的性能，能够直接满足大面积镀膜需求；工艺简单，生产效率和能源利用率高，可有效实现靶材制造成本的控制。

主权项

电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法,其特征在于，制备方法包括原料准备、基体准备、电弧喷涂和后加工，具体包含以下步骤：步骤一：选取直径为Φ2.0mm的高纯度锌合金金属丝为电弧喷涂材料；步骤二：选取适合尺寸的钢管作为旋转靶材的内衬管，进行机加工，对钢管基体表面用丙酮进行清洁处理，去除表面污垢和氧化层，再使用专用喷砂机对其进行表面喷砂处理；喷砂过程中空气压力为0.4MPa，喷砂距离为100‑150mm；步骤三：电弧喷涂时，两根金属线材相交成25°～45°角度，两根金属线材分别接通电源的正负两极，连续送进；两根线材的端部在短接的瞬间因接触而产生电弧；根据喷涂材料设定电压和电流，在电源的作用下，电弧保持稳定燃烧；在电弧发生点的背后，经雾化喷嘴加速后的高速气流使熔化的熔滴脱离线材并雾化成粒子，在高速气流的作用下喷射到经过预处理的基材表面形成涂层；步骤四：喷涂完成后，静置冷却，对靶材表面进行必要的车加工。