[发明专利]一种蓝宝石化学机械抛光液在审
| 申请号： | 201610061056.7 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN107011804A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 徐志国 | 申请（专利权）人： | 浙江晶圣美纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石化学机械抛光液，此抛光液包含胶体二氧化硅纳米磨料以及抛光速率促进剂，其中，所述的抛光速率促进剂为异氰酸硅烷类化合物；通过“抛光垫-纳米磨料-蓝宝石表面”三体接触实现对蓝宝石表面分子级别的去除；其中，所述的抛光垫主要成分为聚氨酯，而纳米磨料表面主要为Si-OH结构；抛光过程中，抛光速率促进剂异氰酸硅烷类化合物中的异氰酸基与抛光垫表面的聚氨酯基团形成有效氢键作用，也可与纳米磨料表面的Si-OH结构形成有效氢键作用。本发明通过向抛光液中加入优选的抛光速率促进剂，可有效促进蓝宝石抛光中三体的有效接触，显著提高蓝宝石抛光速率、表面质量以及抛后蓝宝石中心和边缘厚度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
本发明提供一种蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于：此抛光液包含胶体二氧化硅纳米磨料以及抛光速率促进剂，所述抛光速率促进剂选自异氰酸硅烷类化合物。
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