[发明专利]一种超硬多层复合类金刚石涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201610062672.4 | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN107022740A | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 黄裕祥 | 申请（专利权）人： | 广东耐信镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/18;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市广州高新技术产业开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超硬多层复合类金刚石涂层，该涂层依次由微钻基体、底层粘接层、中间过渡层和表层构成，所述底层粘接层为金属钛或金属铬层，所述中间过渡层为低硬度类金刚石膜，所述表层为复合金刚石涂层；所述复合金刚石涂层为钛或氮气掺杂类金刚石涂层。其制备方法采用阴极过滤电弧技术，离子束技术和真空溅射技术相结合，在试样基底上实现超厚类金刚石复合涂层沉积，本发明获得的超硬类金刚石涂层具有高的膜基结合强度，低内应力，低摩擦系数和长寿命特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 复合 金刚石 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超硬多层复合类金刚石涂层，其特征在于：该涂层依次由微钻基体、底层粘接层、中间过渡层和表层构成，所述底层粘接层为金属钛（Ti）或金属铬（Cr）层，所述中间过渡层为低硬度类金刚石膜，所述表层为复合金刚石涂层；所述复合金刚石涂层为钛（Ti）或氮气（N2）掺杂类金刚石涂层。
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