[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 201610065312.X | 申请日： | 2016-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN105971905A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 坪川彻也 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/32;F04D29/52 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空泵，能够抑制反应生成物往螺纹槽的堆积。涡轮分子泵包括圆筒部及与所述圆筒部的周面相向的定子(32)，在定子(32)的内周面交替形成着螺纹槽(32a)与螺纹牙(32b)。而且，将螺纹槽(32a)的底面(320)与螺纹牙(32b)的顶面(323)相连的一对槽侧壁(321、322)为以从底面侧向顶面侧槽宽扩大的方式形成的非垂直壁。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
一种真空泵，包括转子及与所述转子的周面相向的定子，在所述转子及定子的一者的相向面交替形成着螺纹槽与螺纹牙，所述真空泵的特征在于：将所述螺纹槽的底面与所述螺纹牙的顶面相连的一对槽侧壁的至少一者为以从底面侧向顶面侧槽宽扩大的方式形成的非垂直壁。
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