[发明专利]一种N型背结太阳能电池的制作方法

摘要

本发明公开了一种N型背结太阳能电池的制作方法，包括如下步骤1)碱抛光利用碱溶液对N型硅片的背面进行碱抛光处理；2)硼掺杂对N型硅片的背面进行硼掺杂处理，以形成p+发射层，控制N型硅片的背面表面的掺杂浓度峰值达到1E20cm‑3以上；3)清洗对N型硅片的背面进行清洗，以去除N型硅片的背面的硼硅玻璃层或氧化层；4)碱制绒利用碱溶液对N型硅片的正面进行制绒处理，得到N型背结太阳能电池的主体结构；将步骤4)中处理后的主体结构经磷掺杂、沉积钝化膜、金属化处理，即可得到N型背结太阳能电池；其减少工艺步骤，降低成本，且加工质量高。

主权项

一种N型背结太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：1)碱抛光：利用碱溶液对N型硅片的背面进行碱抛光处理；2)硼掺杂：对N型硅片的背面进行硼掺杂处理，以形成p+发射层，控制N型硅片的背面表面的掺杂浓度峰值达到2E20cm‑3以上；3)清洗：对N型硅片的背面进行清洗，以去除N型硅片的背面的硼硅玻璃层或氧化层；4)碱制绒：利用碱溶液对N型硅片的正面进行制绒处理，得到N型背结太阳能电池的主体结构；将步骤4)中处理后的主体结构经磷掺杂、沉积钝化膜、金属化处理，即可得到N型背结太阳能电池。