[发明专利]基板液处理装置、基板液处理方法以及基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板液处理装置、基板液处理方法以及基板处理装置。不阻碍在对基板进行液处理时产生的气流而能够良好地对基板进行液处理。在本发明中，具有：基板旋转保持部(1013)，其用于保持基板(1004)并使基板旋转；处理液供给部(1014)，其向由基板旋转保持部保持着的基板的下表面供给处理液，基板旋转保持部具有：底板(1025)，其以与基板隔开间隔地配置在基板的下方；罩体(1026)，其由底板支承，配置于基板的外周外侧；排出口(1043)，其形成于底板和罩体之间，用于将在基板的下方产生的气流排出，底板和罩体之间的支承部分(1037)相对于底板的上表面向外侧突并与罩体连接。

主权项

1.一种基板液处理装置，其特征在于，/n该基板液处理装置具有：/n基板旋转保持部，其用于保持基板并使该基板旋转；/n处理液供给部，其用于向由所述基板旋转保持部保持着的基板供给处理液，/n所述基板旋转保持部具有：/n底板，其与所述基板隔开间隔地配置于所述基板的下方；/n罩体，其利用支承部分支承于所述底板，配置于所述基板的外周外侧；/n排出口，其形成于所述底板和罩体之间，用于将在所述基板的下方产生的气流排出，/n所述底板和所述罩体之间的支承部分相对于所述底板的上表面的外边缘向外侧突出而与所述罩体连接，/n将所述底板和所述罩体之间的支承部分形成于比所述基板的下表面靠下方的位置。/n