[发明专利]一种高品质自支撑金刚石厚膜的制备方法有效
| 申请号： | 201610069254.8 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN105506576B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 于盛旺;王荣;高洁;黑鸿君;张阿莉;刘小萍;贺志勇 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/511;C23C16/52 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司14101 | 代理人： | 申艳玲 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高品质自支撑金刚石厚膜的制备方法，该方法包括先使用化学气相沉积法制备厚度为0.5~0.7 mm的高品质自支撑金刚石膜；然后研磨、抛光膜的形核面，去除残留的碳化物，将其作为基体，在形核面上制备厚度为1~3 mm的高品质金刚石膜；在两次制备过程中，金刚石膜的厚度每增加50~100μm，减少甲烷流量，减少值为甲烷初始流量的0.5~1%。使用该方法制备的自支撑金刚石厚膜具有品质均匀性好、无裂纹、机械强度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质 支撑 金刚石 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高品质自支撑金刚石厚膜的制备方法，其特征在于：先使用化学气相沉积法制备0.5~0.7 mm的高品质自支撑金刚石膜；然后研磨、抛光膜的形核面，去除残留的碳化物，将其作为基体，在形核面上制备厚度为1~3 mm的高品质金刚石膜；在两次制备过程中，金刚石膜的厚度每增加50~100 μm，减少甲烷流量，减少值为甲烷初始流量的0.5~1%。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
