[发明专利]一种电阻式薄膜拉力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610070691.1 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN105738015B | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 郭小军;陈苏杰;胡巍;卓本刚 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电阻式薄膜拉力传感器，其采用可拉伸绝缘材料和导电材料制成，为单层结构或双层结构，总厚度为0.5～30μm，由涂有抗粘层的刚性衬底上剥离得到；所述单层结构为所述可拉伸绝缘材料和导电材料的混合体，该可拉伸绝缘材料与导电材料混合的质量比为10:1～1:2；所述双层结构包括由所述可拉伸绝缘材料构成的下层和由所述导电材料构成的位于该下层之上的上层。本发明采用特殊的方式制备所述电阻式薄膜拉力传感器，获得了超薄的结构，不仅提高了传感器的透明性和不可感知性、减少了传感器材料的使用、降低了传感器的重量，同时在传感器受到拉力作用时增大了传感器的形变量，提高了传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 导电材料 绝缘材料 拉伸 薄膜拉力 电阻式 单层结构 双层结构 下层 制备 传感器材料 拉力作用 感知性 混合体 抗粘层 灵敏度 形变量 质量比 衬底 剥离 上层 | ||
【主权项】：
一种电阻式薄膜拉力传感器的制备方法，其特征在于，所述传感器采用可拉伸绝缘材料和导电材料制成，为单层结构，总厚度为0.5～30μm，由涂有抗粘层的刚性衬底上剥离得到；所述单层结构为所述可拉伸绝缘材料和导电材料的混合体，该可拉伸绝缘材料与导电材料混合的质量比为10:1～1:2；所述制备方法包括以下步骤：1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水依序先后分别对玻璃或硅衬底进行超声清洗，清洗后进行干燥，再采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底的表面；2)采用气相沉积法制备自组装单分子的抗粘层，该抗粘层材料为OTS、FOTS或FHTS；3)按照10:1～1:2的质量比将所述可拉伸绝缘材料与导电材料进行均匀混合并刮涂于涂有所述抗粘层的衬底上，形成单层结构；4)采用热退火方式处理所述单层结构后，将其从所述衬底上剥离下来。
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