[发明专利]一种高精度对准光学元件和玻璃平板的装置与方法

摘要

本发明涉及一种高精度对准光学元件和玻璃平板的装置与方法。适用于精密器械装调领域，提供了光学元件表面平行度的对准装置，包括支撑第一光学元件的第一支架、支撑第二光学元件的第二支架、激光自准直仪及控制器；激光自准直仪包括主机和与主机配套的分光镜及表面反射镜，分光镜贴设于第一光学元件表面，表面反射镜贴设于第二光学元件表面；第一支架上设有第一调节件，第二支架上设有第二调节件。本发明采集了分光镜和表面反射镜转动时的多组数据，在激光自准直仪精度不够时，通过多次测量可提高重复精度，激光自准直仪存在系统偏差时可以相互抵消；通过对分光镜和表面反射镜进行旋转并取光点轨迹中心进行计算，消除了分光镜和表面反射镜自身厚度不均带来的偏差，提高了光学元件平行度检测精度和效率。

主权项

1.一种高精度对准光学元件和玻璃平板的装置，其特征在于，包括用于支撑待对准的第一光学元件的第一支架、用于支撑待对准的第二光学元件的第二支架、激光自准直仪，以及与所述激光自准直仪连接的用于分析两光学元件表面平行度的控制器；所述激光自准直仪包括用于发射激光并接收所述激光的反射光的主机，还包括与所述主机配套的可将所述激光部分反射回主机并部分透射的分光镜，以及位于所述分光镜的透射光路上的表面反射镜，所述分光镜贴设于所述第一光学元件待对准的表面，所述表面反射镜贴设于所述第二光学元件待对准的表面；所述第一支架上设有用于调节所述第一光学元件平面度的第一调节件，所述第二支架上设有用于调节所述第二光学元件平面度的第二调节件；/n所述分光镜和表面反射镜在检测所述第一光学元件和第二光学元件的表面平行度的过程中分别以一定点为中心进行旋转，其反射光分别在所述主机上形成多个光点；所述控制器将分光镜的反射光拟合成第一光点轨迹，将所述表面反射镜的反射光拟合成第二光点轨迹，并根据所述第一光点轨迹和第二光点轨迹计算所述第一光学元件和第二光学元件的表面平行度；所述分光镜和所述表面反射镜的转动次数为至少两次，每次旋转的角度相同或者不同，转动的总角度至少为360°。/n