[发明专利]一种用于碳化硅单晶取锭的水平式外圆锯装置有效
| 申请号： | 201610071875.X | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN105543981A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 靳丽婕;韩金波;张云伟;李龙远;马晓亮;张雪 | 申请（专利权）人： | 北京华进创威电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 101111 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于碳化硅单晶取锭的水平式外圆锯装置,包括:操作平台,操作平台的上表面水平,带有待取碳化硅单晶锭的石墨托自由放置在操作平台的上表面,操作平台上方设置有水平切割的电圆锯,电圆锯的驱动轴穿过操作平台与动力装置连接,操作平台高度可调地固定在驱动轴外的轴套上。本发明利用机械传动的方式对碳化硅晶锭进行切割，保证了晶锭处于水平面上，避免了人工竖立晶锭时不能保证垂直而使晶锭受力不均裂开的风险；由于生长出的单晶锭应力较大，使用固定装置容易使晶锭裂开，故操作平台上不设置固定晶锭装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 单晶取锭 水平 圆锯 装置 | ||
【主权项】：
一种用于碳化硅单晶取锭的水平式外圆锯装置,其特征在于，包括:操作平台,所述操作平台的上表面水平,带有待取碳化硅单晶锭的石墨托自由放置在操作平台的上表面,操作平台上方设置有水平切割的电圆锯,所述电圆锯的驱动轴穿过操作平台与动力装置连接,操作平台高度可调地固定在所述驱动轴外的轴套上。
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