[发明专利]一种用于手机盖板保护屏连续镀膜生产线

摘要

本发明公开了一种用于手机盖板保护屏连续镀膜生产线，其包括传送流水线和镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接；传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置，传送车在所述轨道上运行，通过传送车传送装片装置；镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室。与现有技术相比，传送流水线和镀膜流水线首尾相连形成一环形流水线，节约占地面积，整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制，节约人力物力，提供生产效率，镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加，整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求，使用寿命延长，节约资源，因此其应用前景十分广阔。

主权项

1.一种用于手机盖板保护屏连续镀膜生产线，所述生产线为立式真空溅射镀膜生产线，其特征在于，包括：一传送流水线和一镀膜流水线，镀膜流水线与传送流水线连接，传送流水线传送基片，镀膜流水线包括进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，所述进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室依次首尾连接，所述基片通过进口腔室从传送流水线进入镀膜流水线，通过出口腔室从镀膜流水线移出；所述传送流水线与镀膜流水线平行设置，镀膜腔室中设有一移动式阴极装置，所述移动式的阴极装置的靶材轰击轨道非固定，所述移动式阴极装置包括阴极组件和平移组件，所述阴极组件与平移组件固定连接且随平移组件的运动平动；所述阴极为平面磁控溅射阴极，所述阴极组件与平移组件通过一绝缘件连接，阴极组件包括靶材、靶背板、磁铁和轭铁，靶背板四周围有绝缘垫，靶材固定连接靶背板，磁铁固定于轭铁上，且轭铁连接绝缘件；所述镀膜流水线设有至少一个传动机构，所述传动机构设置于镀膜流水线的各腔室，通过磁耦合运输基片，基片在镀膜流水线的各腔室内通过传动机构运输。