[发明专利]一种基于Fano谐振的超高精度波长解析器在审
| 申请号： | 201610072445.X | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN105651400A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王根成;戴庭舸;杨梅;李宇波;王曰海;杨建义 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于Fano谐振的超高精度波长解析器。波导分束器与多个Fano滤波器的输入端连接，Fano滤波器的输出端经各自的Fano滤波器连接到信号处理模块，待测光由光波导经过波导分束器分成多束光，多束光分别进入到Fano滤波器滤波后输出信号到Ge-Si光电探测器；Fano滤波器中设有TiN热电极，通过加热TiN热电极调节Fano滤波器的输出产生Fano滤波谱线，形成“X”形频谱。本发明实现在该“X”频谱范围内对波长超高精度的检测，其器件制作采用普通的SOI硅片，具有良好的CMOS工艺兼容性，可大规模集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 fano 谐振 超高 精度 波长 解析 | ||
【主权项】：
一种基于Fano谐振的超高精度波长解析器，其特征在于：包括波导分束器(3)、多个Fano滤波器(4)、Ge‑Si光电探测器(5)和信号处理模块(6)，波导分束器(3)与多个Fano滤波器(4)的输入端连接，Fano滤波器(4)的输出端经各自的Ge‑Si光电探测器(5)连接到信号处理模块(6)，待测光由光波导经过波导分束器(3)分成多束光，多束光分别进入到多个Fano滤波器(4)滤波后输出信号到Ge‑Si光电探测器(5)；Fano滤波器(4)中设有TiN热电极(403)，通过加热TiN热电极(403)调节Fano滤波器输出的滤波谱线，产生包含有“X”形频谱的Fano滤波谱线。
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