[发明专利]压印方法、压印装置以及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种压印方法、压印装置以及物品的制造方法。所述压印方法通过使用具有图案区域的模具，在基板上形成的投射区域上形成图案，所述压印方法包括：根据变形量，进行用于所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形的控制；获得在所述变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于所述偏移量，选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，以满足预设条件；以及在进行变形的控制步骤中的变形之后，基于对选择的标记的位置的检测结果，进行所述交叠的反馈控制。

主权项

1.一种压印方法，其通过使用具有形成有图案的图案区域的模具，在基板的投射区域上形成压印材料的图案，所述压印方法包括以下步骤：/n变形步骤，根据被确定为使得所述图案区域的形状与所述投射区域的形状彼此接近的所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形量，变形所述至少一者；/n获得步骤，获得在所述变形步骤之后的、要分别在所述图案区域上配设的多个标记与所述投射区域上配设的对应标记之间生成的偏移量；/n分开步骤，基于在所述获得步骤中获得的所述偏移量，将所述多个标记分成要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的第一标记和不用于控制所述交叠的第二标记；以及/n交叠步骤，在所述变形步骤之后，基于在所述分开步骤中确定的所述图案区域上的所述第一标记与所述投射区域上的对应标记之间的相对位置的检测结果，对所述图案区域与所述投射区域之间的所述交叠进行反馈控制。/n