[发明专利]一种冷阴极大功率电子束枪

摘要

本发明公开了一种冷阴极大功率电子束枪，特点是包括从上至下依次设置的电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，电极接入组件通过绝缘套与气体电离组件密封固定，气体电离组件、阳极栅孔管和束流偏转导引组件依次密封固定，电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和束流偏转导引组件上均设置有水冷机构；优点是由于设置有使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，在工作过程中通过偏转线圈使出射电子束流发生偏转，从根本上避免了加热物料热辐射对冷阴极及气体电离室的干扰和影响，消除了飞溅物、烟气、灰尘等细微颗粒的意外放电，大大增加了冷阴极电子束枪的工作稳定性。

主权项

一种冷阴极大功率电子束枪，包括从上至下依次设置的电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，所述的电极接入组件通过绝缘套与所述的气体电离组件密封固定，所述的气体电离组件、所述的阳极栅孔管和所述的束流偏转导引组件依次密封固定，所述的电极接入组件、所述的气体电离组件、所述的阳极栅孔管和所述的束流偏转导引组件上均设置有水冷机构，其特征在于：所述的束流偏转导引组件包括聚焦偏转部分和扫描部分，所述的聚焦偏转部分包括上段束流管、上聚焦线圈和偏转线圈，所述的阳极栅孔管与所述的上段束流管同轴密封固定，所述的上聚焦线圈和所述的偏转线圈分别固定套设在所述的上段束流管上，所述的扫描部分包括下段束流管和扫描线圈，所述的下段束流管与所述的上段束流管固定连接，所述的上段束流管的中心轴线和所述的下段束流管的中心轴线的夹角为5～30°，所述的偏转线圈位于所述的上段束流管的下端与所述的下段束流管的交接处，所述的偏转线圈的偏转角度等于所述的上段束流管的中心轴线与所述的下段束流管的中心轴线的夹角角度，所述的扫描线圈固定套设在所述的下段束流管上，所述的束流偏转导引组件上的水冷机构包括固定设置在所述的上段束流管或所述的下段束流管上的第四水冷进口和第四水冷出口，所述的上段束流管和所述的下段束流管中设置有第三水冷环槽，所述的第四水冷进口和所述的第四水冷出口与所述的第三水冷环槽相连通。