[发明专利]工件承载装置及其调节方法和工件研磨设备有效
申请号: | 201610074913.7 | 申请日: | 2016-02-02 |
公开(公告)号: | CN105500184B | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 卢建伟 | 申请(专利权)人: | 上海日进机床有限公司 |
主分类号: | B24B37/27 | 分类号: | B24B37/27 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201601 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种工件承载装置及其调节方法和工件研磨设备,其中,该工件承载装置包括设于预设位置的圆柱形的承载本体,其具有承载工件的承载面;多个金属固定件,穿设所述承载本体而固定于所述预设位置,以供加热或降温以膨胀或收缩来实现高精度地微调工件承载装置对应工件的承载面高度及相应的研磨角度,实现工件在不同研磨倾角的研磨要求。 | ||
搜索关键词: | 工件 承载 装置 及其 调节 方法 研磨 设备 | ||
【主权项】:
一种工件承载装置,其特征在于,包括:设于预设位置的圆柱形的承载本体,其具有承载工件的承载面;多个金属固定件,穿设所述承载本体而固定于所述预设位置,以供加热或降温以膨胀或收缩来调节所述承载面高度;多个升降温装置,一一对应地设于各所述金属固定件处。
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