[发明专利]可靠的互连有效
| 申请号： | 201610076079.5 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN105870089B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 黄锐;胡振鸿;迪马·巴巴澜·小安东尼奥 | 申请（专利权）人： | 联测总部私人有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/485 | 分类号： | H01L23/485;H01L23/488;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 郭婧婧;程玲 |
| 地址： | 新加坡宏*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种器件和形成器件的方法。该器件包括设置在该器件的最后互连级上面的接触区。该器件包括具有至少开口的最终钝化层和至少设置在接触区的顶表面的第一暴露部分上面的缓冲层，所述开口至少部分暴露接触区的顶表面。当导电互连件耦合至接触区时，缓冲层吸收经施加形成导电互连件和接触区之间的互连的力的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠 互连 | ||
【主权项】：
一种器件，包括：设置在所述器件的最后互连级上面的接触区；具有至少开口的最终钝化层，所述开口至少部分暴露所述接触区的顶表面；以及至少设置在所述接触区的顶表面的第一暴露部分上面的缓冲层，其中，当导电互连件耦合至所述接触区时，所述缓冲层吸收经施加形成所述导电互连件和所述接触区之间的互连的力的一部分。
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