[发明专利]压印装置及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201610076426.4 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN105892228B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 竹村瞬 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印装置及物品的制造方法。该压印装置进行通过使用模具对基板上的压印材料形成图案的压印处理，所述压印装置包括：检测单元，其被构造为在进行所述压印处理期间检测错误的发生；以及控制单元，其被构造为在所述检测单元在所述基板上的压印材料被固化之前检测到所述错误的发生的情况下，进行如下错误处理：停止所述压印处理，并在固化所述基板上的压印材料的情况下从所述压印装置卸载所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压印装置，其进行通过使用模具对基板上的压印材料形成图案的压印处理，所述压印装置包括：检测单元，其被构造为在所述压印材料已经被供给到基板上之后，检测导致无法继续进行压印处理的错误的发生；以及控制单元，其被构造为在所述检测单元在照射单元已经固化了所述基板上的压印材料之前检测到所述错误的发生的情况下，进行如下错误处理：通过控制照射单元固化所述基板上的压印材料而不通过使用模具对所述基板上的压印材料形成图案来停止所述压印处理，并控制基板运送单元以在固化所述基板上的压印材料之后从压印装置上卸载基板。
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