[发明专利]给载体装配无外壳芯片的装配机和方法有效
申请号: | 201610076595.8 | 申请日: | 2016-02-03 |
公开(公告)号: | CN105870038B | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 马丁·普吕菲尔;伯恩德·奥恩里希;西尔维斯特·德梅尔;曼弗雷德·沃尔 | 申请(专利权)人: | 先进装配系统有限责任两合公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/58;H01L21/683 |
代理公司: | 11214 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 艾晶 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 描述了一种装配机以及一种方法,用来给载体(190)装配无外壳芯片(282)。该装配机(110)具有:(a)供应装置(140),其用来提供具有许多芯片(282)的晶片(180);(b)载体‑容纳装置(130),其用来接纳待装配的载体(190),其具有事先准确测量的外观结构(234);以及(c)装配头(120),其用来从提供的晶片(180)中提取出芯片,并且用来将提取的芯片(282)定位在载体(190)上的预定义的装配位置上。该载体‑容纳装置(130)具有气动接口(232),借助它能够将低压施加到载体(190)的表面上。 | ||
搜索关键词: | 载体 装配 外壳 芯片 方法 | ||
【主权项】:
1.一种装配机,其用来给载体(190)装配无外壳芯片(282),用来制造电子元件,它们分别具有至少一个位于外壳中的芯片(282),该外壳具有硬化的浇注材料,该装配机(110)具有:/n供应装置(140),其用来提供具有许多芯片(282)的晶片(180);/n载体-容纳装置(130),其用来容纳待装配的载体(190);以及/n装配头(120),其用来从提供的晶片(180)中提取出芯片(282),并且用来将提取的芯片(282)定位在载体 (190)的预定义的装配位置上;/n其中该载体-容纳装置(130)具有气动接口(232),借助它能够将低压施加到载体(190)的表面上;/n其中该装配机还具有:调温装置(238),它与载体-容纳装置(130)在热量方面耦合并且还设计得至少几乎将载体-容纳装置(130)保持在恒定的温度上;/n其中该载体-容纳装置(130)具有至少两个标志(234)和至少两个另外的标志(235),它们可从外观上看到并且在为接纳载体(190)所设置的空间区域之外设置在载体-容纳装置(130)上;/n其中这两个标志(234)沿着第一方向(y)相互相对地具有空间偏差,其中这另外的两个标志(235)沿着第一方向(y)相互相对地具有空间偏差,这两个标志(234)都相对于另外的两个标志(235)都沿着第二方向(x)具有空间偏差。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造