[发明专利]真空及漏率多功能校准装置

摘要

本发明公开真空及漏率多功能校准装置，包括真空及漏率多功能校准装置检定台、真空及漏率多功能校准装置控制箱、控制系统和真空及漏率多功能校准系统。本发明符合国家标准、操作方便、校准数据准确可靠且精度高、检定效率高并具有较宽的校准范围，不仅可以对真空规校准，还可以实现对漏孔的校准。

主权项

真空及漏率多功能校准装置，其特征在于，包括真空及漏率多功能校准装置检定台、真空及漏率多功能校准装置控制箱、控制系统和真空及漏率多功能校准系统(200)；所述真空及漏率多功能校准装置检定台包括安装架(301)、上面板(302)、侧面板和泵体安装板(314)；所述上面板(302)上设有管路安装孔以及定位螺孔(311)；所述侧面板包括侧箱盖(304)和侧箱盖安装板(303)，所述侧箱盖安装板(303)设有侧箱盖安装槽(306)，所述侧箱盖安装槽(306)槽底设有侧箱盖安装孔(307)，所述侧箱盖安装孔(307)内设有限位挡板(312)，所述侧箱盖(304)设在所述侧箱盖安装孔(307)内；所述上面板(302)设在所述安装架(301)的顶部并与所述安装架(301)固定连接，所述侧面板设在所述安装架(301)的侧面并与所述安装架(301)固定连接，所述泵体安装板(314)设在所述安装架(301)的底部并与所述安装架(301)固定连接；所述真空及漏率多功能校准装置控制箱包括箱体(401)和控制系统安装架(402)，所述箱体(401)顶部设有上箱盖(403)，所述上箱盖(403)上沿周向设有第一散热孔(404)，所述箱体(401)侧面设有第一侧面箱盖(405)、第二侧面箱盖(406)、第三侧面箱盖和第四侧面箱盖(407)，所述第一侧面箱盖(405)设有观察窗口(408)，所述观察窗口(408)内设有透明玻璃板(409)，所述箱体(401)箱底下表面四个角上均设有定位支脚(410)和万向脚轮(411)，所述万向脚轮(411)通过可调连接件与所述箱体(401)箱底下表面固定连接；所述控制系统安装架(402)设在所述箱体(401)内；所述控制系统设在所述箱体(401)内；所述真空及漏率多功能校准系统(200)包括检测管路、真空校准分系统(203)、漏率校准分系统(204)、机械泵(201)和分子泵(202)；所述检测管路包括导气管、手动隔断阀V9(207)、手动隔断阀V10(208)、手动隔断阀V2(222)、手动隔断阀V1(205)、电磁隔断阀V15(210)和电阻规G5(224)；所述手动隔断阀V9(207)、所述手动隔断阀V10(208)、所述手动隔断阀V2(222)、所述手动隔断阀V1(205)、所述分子泵(202)、所述电磁隔断阀V15(210)和所述电阻规G5(224)通过导气管依次连接；所述机械泵(201)依次经过电磁隔断阀V17(212)和挡油阱(213)与位于所述手动隔断阀V9(207)和所述电阻规G5(224)之间的所述检测管路连接导通，所述漏率校准分系统(204)与位于所述手动隔断阀V9(207)和所述手动隔断阀V2(222)之间的所述检测管路连接导通，所述真空校准分系统(203)与位于所述手动隔断阀V2(222)和所述手动隔断阀V1(205)之间的所述检测管路连接导通，位于所述手动隔断阀V1(205)和所述分子泵(202)之间的所述检测管路经过微调阀V16(211)与氮气存储装置(226)连接导通。