[发明专利]用于多晶硅铸锭的高效免喷涂熔融石英坩埚的制造方法有效
申请号: | 201610077935.9 | 申请日: | 2016-02-03 |
公开(公告)号: | CN105645782B | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 季勇升 | 申请(专利权)人: | 季勇升 |
主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 徐冬涛;吕鹏涛 |
地址: | 212218 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于多晶硅铸锭的高效免喷涂熔融石英坩埚的制造方法,对免喷涂熔融石英坩埚的毛坯打磨、清洁预处理,然后在该毛坯内底面上依次喷涂40~60目和70~90目的高纯石英砂颗粒,再在毛坯的内表面喷涂0.2~0.7mm的氮化硅涂层,最后将该毛坯在梭式窑炉中于1090~1180℃下烧结14~24小时。本发明较现有技术缩短了生产周期,简化了生产工艺,大大降低了能耗,提高了生产效率、成品率、光电转换效率及企业的经济效益。 | ||
搜索关键词: | 用于 多晶 铸锭 高效 喷涂 熔融 石英 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于多晶硅铸锭的高效免喷涂熔融石英坩埚的制造方法,其特征在于:对免喷涂熔融石英坩埚的毛坯打磨、清洁预处理,然后在该毛坯内底面上依次喷涂40~60目和70~90目的高纯石英砂颗粒,再在毛坯的内表面喷涂0.2~0.7mm的氮化硅涂层,最后将该毛坯在梭式窑炉中于1090~1180℃下烧结14~24小时,即得;喷涂40~60目高纯石英砂颗粒后得到的高纯石英砂层的厚度为0.6~1.0mm,喷涂70~90目高纯石英砂颗粒后得到的高纯石英砂层的厚度为0.7~1.1mm。
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