[发明专利]一种紫外激光连续变倍扩束镜

摘要

本发明涉及一种紫外激光连续变倍扩束镜，沿激光入射方向，包括连续设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，其中所述的第一透镜为双凸正透镜，第二透镜为平凹的负透镜，第三透镜为平凸的正透镜；第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为d2，d2的范围是：5mm≤d2≤23mm；第二透镜与第三透镜在光轴上的间距为d4，d4的范围是：124≤d4≤139mm，且d2与d4的公差范围为5％。与现有技术相比，本发明紫外激光变倍扩束镜能允许入射光直径φ＝2.2–6mm，扩束倍率范围为β＝2–10，波长λ＝355nm。本发明扩束镜可将不同激光器输出的不同参数的激光应用于同一种激光应用系统；同时，也可用于对激光参数有不同要求的各种激光应用光学系统。

主权项

1.一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，沿激光入射方向，包括连续设置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，其中所述的第一透镜为双凸正透镜，第二透镜为平凹的负透镜，第三透镜为平凸的正透镜；第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为d2，d2的范围是：5mm≤d2≤23mm；第二透镜与第三透镜在光轴上的间距为d4，d4的范围是：124≤d4≤139mm；所述的第一透镜包括曲率半径分别为R1、R2的两个曲面S1、S2，其光轴上的中心厚度为d1，其材料以折射率与阿贝数之比进行表述，即Nd1：Vd1，R1为37mm，R2为‑37mm，d1为3mm，Nd1:Vd1为1.46：68；所述的第二透镜包括曲率半径分别为R3、R4的两个曲面S3、S4，其光轴上的中心厚度为d3，其材料以折射率与阿贝数之比进行表述，即Nd3：Vd3，所述的R3为无穷大，R4为4mm，d3为2mm，Nd3:Vd3为1.46:68；所述的第三透镜包括曲率半径分别为R5、R6的两个曲面S5、S6，其光轴上的中心厚度为d5，其材料以折射率与阿贝数之比进行表述，即Nd5：Vd5，所述的R5为无穷大，R6为‑75mm，d5为6mm，Nd5:Vd5为1.46：68；该扩束镜中各透镜的曲面半径，曲面间隔及材料参数的公差范围在±5％内。