[发明专利]一种镀制PVD防菌膜的方法在审
| 申请号： | 201610078676.1 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105586576A | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 黎剑文 | 申请（专利权）人： | 东莞沙头朝日五金电子制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种镀制PVD防菌膜的方法，采用真空磁控溅射技术，并采用含纳米银的靶材，使纳米银均匀的分布在防菌膜上，能够起到全面防菌的目的，另外将纳米银裹在靶材中镀膜，靶材可以起到保护纳米银的作用，保护了纳米银，增加了防菌膜的耐磨性，可以长时间持续防菌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 防菌膜 方法 | ||
【主权项】：
一种镀制PVD防菌膜的方法，其特征是：包括如下步骤：1）预处理：将工件表面洗净，脱去氧化膜，放入真空炉内，抽真空，升温；2）生成基础膜层：启动Ti弧靶，充入Ar，加载偏压，在工件表面沉积Ti基础薄膜；3）生成防菌膜层：关闭Ti弧靶，启动含不超过10%纳米银的Mo弧靶，充入Ar，加载偏压，在工件表面沉积防菌膜层。
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