[发明专利]一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法在审
| 申请号： | 201610078959.6 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105716529A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 戴宜全;桂成群;刘胜;雷金 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01P3/36 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 赵丽影 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统及方法。创造性的提出了一种集成屏替代通常云纹干涉测量中的读数栅，实现了多级次衍射光的干涉实现和利用（限于激光功率较低、读数光栅固定的衍射角度限制，利用超过正负1级衍射光线进行干涉测量的情况较少），尤其有利于亚纳米级测量，因为，对于纳米级、亚纳米级精度测量时其稳定性往往不好，以不同的灵敏度（利用多级衍射光进行干涉测量）、多次同步复测综合判断尤为重要；另一方面，最近几年激光器制作技术有了很大发展，利用高级次衍射光进行干涉测量逐渐成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光栅 多级 衍射 同步 干涉 实现 分辨率 自由度 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于光栅多级衍射同步干涉实现多分辨率、多自由度干涉测量的系统，其特征在于：包括二维光栅、准直后的激光光源、集成探头；所述集成探头包括多个光电感应探头和集成屏，集成屏内包括有支撑框架、多个折射晶体，多个光电感应探头和多个折射晶体均相对固定在支撑框架上；集成屏与光栅平面平行放置；通过集成屏实现多个衍射级次的光同步干涉测量，不同的衍射级次对应不同的分辨率，从而实现多自由度、多分辨率测量。
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