[发明专利]用于氧化铟层的蚀刻剂组合物，蚀刻方法，使用它们的液晶显示器阵列基板及其制造方法在审
| 申请号： | 201610079267.3 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105907396A | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 金泰完;安基熏;李昔准 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/04 | 分类号： | C09K13/04;G02F1/1362;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于蚀刻氧化铟层的蚀刻剂组合物，蚀刻方法，使用它们的液晶显示器阵列基板及其制造方法，所述蚀刻剂组合物包括硝酸或亚硝酸、氯化合物、硝酸盐化合物和水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氧化 蚀刻 组合 方法 使用 它们 液晶显示器 阵列 及其 制造 | ||
【主权项】：
用于蚀刻氧化铟层的蚀刻剂组合物，其包括：基于所述蚀刻剂组合物的总重量，5至12wt％的硝酸或亚硝酸，0.01至5wt％的氯化合物，0.01至3wt％的硝酸盐化合物，和余量的水，使得所述蚀刻剂组合物的总重量是100wt％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东友精细化工有限公司，未经东友精细化工有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610079267.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种农业用液体微生物菌剂的制备方法
- 下一篇：用于电动喷雾器的喷杆
