[发明专利]研磨剂与研磨方法、及研磨用添加液有效
| 申请号： | 201610079482.3 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105838258B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 吉田有衣子 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨海荣;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种研磨剂与研磨方法、及研磨用添加液，所述研磨剂的特征在于，含有：氧化铈粒子，具有选自羧酸基和羧酸的盐的至少一者的水溶性有机聚合物，在分子中具有选自叔氨基和氧基亚烷基链的至少一者的水溶性聚酰胺，以及水，且其pH为7以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨剂 研磨 方法 添加 | ||
【主权项】：
1.一种研磨剂，其特征在于，含有：氧化铈粒子，具有选自羧酸基和羧酸的盐的至少一者的水溶性有机聚合物，在分子中具有选自叔氨基和氧基亚烷基链的至少一者的水溶性聚酰胺，以及水，且其pH为7以下。
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