[发明专利]一种激光能量调节装置及激光微加工设备有效
| 申请号： | 201610080151.1 | 申请日： | 2016-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN105598582B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 余廷勋;徐地华;郭萌祖;梅领亮;陈伯平 | 申请（专利权）人： | 广东正业科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 523808 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光能量调节装置以及激光微加工设备，激光能量调节装置包括激光器，用于发射激光脉冲；分光镜，用于将激光脉冲分出采样激光脉冲；单脉冲能量探头，用于实时采集采样激光脉冲，依据采样激光脉冲计算单脉冲激光能量值；第一控制芯片，用于将单脉冲激光能量值与激光能量标准值进行比较，生成能量调节信号；激光能量调节器，设置于激光器出光口一侧且位于激光器与分光镜之间，用于依据能量调节信号调节所述激光器发射的激光脉冲的激光能量。一种激光能量调节装置能够在激光器发射激光脉冲对材料进行微加工过程中能够及时对激光能量进行调节，提高了调节速度，提高了调节准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 能量 调节 装置 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种激光能量调节装置，其特征在于，包括：激光器，用于发射激光脉冲；分光镜，用于将所述激光脉冲分出采样激光脉冲；单脉冲能量探头，用于实时采集所述采样激光脉冲，依据所述采样激光脉冲计算单脉冲激光能量值；第一控制芯片，用于将所述单脉冲激光能量值与激光能量标准值进行比较，生成能量调节信号；激光能量调节器，设置于所述激光器出光口一侧且位于所述激光器与所述分光镜之间，用于依据所述能量调节信号调节所述激光器发射的激光脉冲的激光能量；功率探头，用于在预设时间段内采集所述分光镜分出的非采样激光脉冲，依据所述非采样激光脉冲计算激光功率平均值；第二控制芯片，用于将所述激光功率平均值与所述激光能量标准值进行比较，依据比较结果生成能量校准信号，将所述能量校准信号发送至所述激光能量调节器。
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