[发明专利]一种微流体通道导通性的判定方法有效
| 申请号： | 201610082008.6 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN105547686B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李无瑕;李俊杰;金凌;顾长志 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 范晓斌;康正德 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流体通道导通性的判定方法，属于微纳米领域。通过在微流体通道内部填装跟踪试剂并冷却固化，然后采用聚焦离子束刻蚀技术在微流体通道不同位置获得横截面，最后通过扫描电子显微镜高分辨观测微流体通道横截面，来判定微流体通道导通性能，其样品制作工艺难度较低，检测用时较少，检测过程操作简便，同时，通过多个横截面的截取与扫描电镜的高分辨成像，其灵活性与准确度较高，是一种较为合适的判定微流体通道导通性的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微流体通道 判定 导通性 聚焦离子束刻蚀 扫描电子显微镜 高分辨成像 准确度 导通性能 工艺难度 过程操作 冷却固化 扫描电镜 位置获得 样品制作 高分辨 微纳米 检测 截取 填装 用时 观测 跟踪 | ||
【主权项】：
1.一种微流体通道导通性的判定方法，其具有如下步骤：步骤1：将包括微流体通道和衬底的样品固定在聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统的样品台上；步骤2：采用聚焦离子束或电子束诱导沉积技术，在所述衬底处制备一储藏仓，所述储藏仓与所述微流体通道的一端相连接；步骤3：取出所述样品，并且在所述样品处敷涂跟踪试剂，所述跟踪试剂覆盖所述微流体通道与所述储藏仓；步骤4：将步骤3中获得的样品加热处理，直至跟踪试剂进入所述微流体通道的内部；步骤5：将步骤4中获得的样品冷却，直至所述微流体通道内部的跟踪试剂固化；步骤6：清除所述微流体通道以外的所有跟踪试剂；步骤7：将步骤6中获得的样品放在聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统的样品台处，采用聚焦离子束刻蚀技术，在所述微流体通道不同位置处获得横截面；步骤8：采用扫描电子显微镜高分辨观测步骤7中获得的横截面，判断所述微流体通道的导通性能。
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