[发明专利]一种改变载气流向的引流装置在审
| 申请号： | 201610082942.8 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN105671633A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 陈鸽;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 陈鸽 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 232170 安徽省淮*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶铸锭设备领域，具体公开了一种改变载气流向的引流装置，包括依次固定连接的进气部、分流部和引流部，进气部内置用于载气流入的进气孔，分流部内置分流腔，引流部由至少一条用于改变载气流向的引流气道构成，所述进气孔和分流腔连通，引流气道的进气口和分流腔连通，出气口沿着周向按同方向的角向分布。本发明引流装置具有通向铸锭炉内的视场，引流装置使载气分散地吹射液态硅表面的不同区域，增加载气和液态硅表面的接触面积，减少载气导致的局域过冷及载气促进的杂质形成；载气驱动液态硅中产生旋转流场，在自然对流流场和旋转流场的共同作用下，促进杂质挥发，减少液态硅中的杂质局域富集，使晶体的径向电阻率分布更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改变 流向 引流 装置 | ||
【主权项】：
一种改变载气流向的引流装置，其特征在于：包括依次固定连接的进气部、分流部和引流部，所述进气部内置用于载气流入的进气孔，分流部内置分流腔，引流部由至少一条用于改变载气流向的引流气道构成，所述进气孔和分流腔连通，引流气道的进气口和分流腔连通，出气口沿着周向按同方向的角向分布。
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