[发明专利]一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法

摘要

本发明涉及一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法，与现有技术相比解决了三角形填充速度慢的缺陷。本发明包括以下步骤：三角形预处理，对三角形进行线段拆分分组；计算相同Y值下的X点的坐标值，针对线段集合Z中的线段分组进行并行处理，均计算出相同Y值下X点的坐标值；数据填充，对线段集合Z中的线段分组进行并行填充处理。本发明通过FPGA技术实现三角形的填充，提高了填充速度，从而提高直写光刻机的产能。

主权项

1.一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法，其特征在于，包括以下步骤：11)三角形预处理，对三角形进行线段拆分分组，所述的线段拆分分组位于第一象限内；12)计算相同Y值下的点的X轴坐标值，针对线段集合Z中的线段分组进行并行处理，均计算出相同Y值下的点的X轴坐标值；所述的计算相同Y下的点的X轴坐标值包括以下步骤：121)针对线段集合Z中的线段分组，均计算出Y值相同的点的X轴坐标值xa和xb；122)计算当前线段Y值对应X轴坐标xa的值；123)计算当前线段Y值对应X轴坐标xb的值；13)数据填充，对线段集合Z中的线段分组进行并行填充处理；所述的数据填充包括以下步骤：131)设定查找表H和查找表G；132)对线段分组中的两条线段，以Y值为基准，将Y值相同的两个交点xa和xb之间进行填充；其填充方法如下：1321)比较xa和xb的大小，若xa＞xb，则将xa值赋给xlarge，将xb值赋给xsmall；若xa＜xb，则将xb值赋给xlarge，将xa值赋给xsmall；1322)以xlarge的值建立查找表H，以xsmall的值建立查找表G；1323)在查找表H中，将x_large左边设置x_large个1，x_large右边设置个0，其中为画面总宽度；1324)在查找表G中，将x_small左边设置x_small个0，x_small右边设置个1，其中为画面总宽度；1325)将查找表H和查找表G进行与运算操作，则xlarge与xsmall之间均填充完毕。