[发明专利]一种基于表面等离激元的四象限探测器有效
| 申请号： | 201610083535.9 | 申请日： | 2016-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN105698677B | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 王家园 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 刘勇 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种基于表面等离激元的四象限探测器，属于光学测量技术领域。四象限光电探测器设有金属膜，在金属膜表面设有一组边长为a的亚波长正方形凹槽，一般要求a约等于半波长以便有较高的耦合效率。各凹槽的位置位于一个M×N的正方形网格的格点位置，M表示网格的列数,N表示网格的行数，M可等于N，M和N的选取要求使器件的尺寸和光斑尺寸可以比拟。因此每个凹槽的中心位置记为rm,n＝max+nay,x和y是直角坐标系的x和y方向单位矢量，m和n是任何绝对值不大于M的整数，某个凹槽的位置记为(m,n)。反应速度快、暗电流小。器件可以制备在几十纳米厚度的金属薄膜上，结构简单，尺度小、利于器件集成化。 | ||
| 搜索关键词： | 表面等离激元 四象限探测器 网格 四象限光电探测器 方向单位矢量 光学测量技术 反应速度快 金属膜表面 正方形凹槽 正方形网格 直角坐标系 光斑 格点位置 金属薄膜 器件集成 耦合效率 暗电流 半波长 金属膜 亚波长 边长 列数 行数 制备 尺度 | ||
【主权项】：
一种基于表面等离激元的四象限光电探测器，其特征在于，设有金属膜，在金属膜表面设有一组边长为a的亚波长正方形凹槽，各凹槽的位置位于一个M×N的正方形网格的格点位置，M表示网格的列数，N表示网格的行数，M可等于N，每个凹槽的位置记为rm,n＝max+nay,x和y是直角坐标系x和y方向单位矢量，m和n是任何绝对值不大于M的整数，某个凹槽的位置记为(m,n)。
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