[发明专利]一种类金刚石涂层褪镀工艺

摘要

本发明公开一种类金刚石涂层褪镀工艺，该工艺包括以下步骤：将被褪镀件置于超声波槽中，依次经过除油、漂洗、除蜡、漂洗工序，去除表面的宏观污渍；将清洗后的被褪镀件置于烘箱中烘烤；将被褪镀件置于真空镀膜设备中，利用Ar离子辉光清洗去除表面的微观污渍；在Ar离子辉光清洗之后，直接向真空室充入O₂；将被褪镀件再次置于超声波槽中，使用溢流高纯水进行清洗。本发明不使用化学药剂褪镀，在不改变工件表面粗糙度和精度的前提下实现原位褪镀，可以满足类金刚石涂层工业化批量褪镀的要求；褪镀快，依据涂层种类和厚度不同，一般只需要0.5-3小时。

主权项

一种类金刚石涂层褪镀工艺，其特征在于：该工艺包括以下步骤：(1)超声波清洗：将被褪镀件置于超声波槽中，依次经过除油、漂洗、除蜡、漂洗工序，去除表面的宏观污渍；(2)烘干：将清洗后的被褪镀件置于烘箱中烘烤；(3)Ar等离子体轰击：将被褪镀件置于真空镀膜设备中，利用Ar离子辉光清洗去除表面的微观污渍；(4)O₂等离子体原位褪镀：在Ar离子辉光清洗之后，直接向真空室充入O₂，继续褪镀；(5)超声波二次清洗：将被褪镀件再次置于超声波槽中，使用溢流高纯水进行清洗。