[发明专利]一种真空镀膜机系统及其操作方法在审
| 申请号： | 201610085944.2 | 申请日： | 2016-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN105543790A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 武文全 | 申请（专利权）人： | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 马鞍山市金桥专利代理有限公司 34111 | 代理人： | 杨涛 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机系统及其操作方法，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制，其操作方法包括5个步骤，(1)开机预热；(2)自动抽气；(3)自动镀膜；(4)自动放气；(5)自动关机；方便增加可编辑工艺，可进行全自动运行，进行各项流程的单独或多项，可调换操作智能操作，智能保护与维护检测，提高产品质量，节约人工成本，增加工作效率，提供系统报警异常，可及时修复与维护可多种工艺编辑储存及修改，可单独操做或自动操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机系统，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体，其特征在于，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制，控制部分包括控制系统、存储器、控制面板，且控制系统与控制面板相连接且控制面板与存储器相连接，抽气系统包括扩散泵、维持泵、罗茨泵、第一粗抽泵和第二粗抽泵，真空室体与扩散泵相连接，真空室体与扩散泵的连接处设有放气阀，扩散泵的顶部设有精抽阀，扩散泵的顶部与罗茨泵相连接，扩散泵与罗茨泵的连接处设有粗抽阀，扩散泵的底部与维持泵相连接，维持泵上部设有维持阀，且罗茨泵与维持泵相连接，罗茨泵与维持泵的连接处设有前置阀，罗兹泵分别与第一粗抽泵和第二粗抽泵相连接。
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