[发明专利]基板保持机构以及使用该基板保持机构的基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板保持机构以及使用该基板保持机构的基板处理装置。该基板保持机构是用于将基板保持于基座上的预定的基板保持区域上的基板保持机构，其中，该基板保持机构具有：基板保持构件，其设置于所述基板保持区域的周围，其通过从所述基板保持区域的外侧向内侧旋转，能够以预定的接触面与载置到所述基板保持区域上的所述基板的侧面部接触；施力部件，其对该基板保持构件施加朝向内侧方向的作用力，通过该作用力，使得该基板保持构件与所述基板的侧面部接触而能够保持所述基板；释放构件，其通过对所述基板保持构件施加用于克服与该施力部件的所述作用力的力，而能够将所述基板保持构件释放成能够将所述基板沿着铅垂方向抬起的状态。

主权项

一种基板保持机构，其用于将基板保持于基座上的预定的基板保持区域上，其中，该基板保持机构具有：基板保持构件，其设置于所述基板保持区域的周围，其通过从所述基板保持区域的外侧向内侧旋转，能够以预定的接触面与载置到所述基板保持区域上的所述基板的侧面部接触；施力部件，其对该基板保持构件施加朝向内侧方向的作用力，通过该作用力，使得该基板保持构件与所述基板的侧面部接触而能够保持所述基板；释放构件，其通过对所述基板保持构件施加用于克服与该施力部件的所述作用力的力，而能够将所述基板保持构件释放成能够将所述基板沿着铅垂方向抬起的状态。