[发明专利]线栅偏振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201610087740.2 | 申请日： | 2016-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN106054301B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 吴知勋;安泰泳 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种线栅偏振器及其制造方法。所述线栅偏振器包括：基板；多个导电布线图案，平行地形成以从基板的顶表面突出；第一硬掩模图案，设置在导电布线图案上；第二硬掩模图案，设置在第一硬掩模图案上，其中，第二硬掩模图案的锥角与第一硬掩模图案的锥角的比值为1或更大。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种线栅偏振器，所述线栅偏振器包括：基板；多个导电布线图案，平行地形成，所述多个导电布线图案从所述基板的顶表面突出；第一硬掩模图案，设置在所述多个导电布线图案上；以及第二硬掩模图案，设置在所述第一硬掩模图案上，其中，所述第二硬掩模图案的锥角与所述第一硬掩模图案的锥角的比值为1或更大。
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