[发明专利]用于改进太阳能电池的制造成品率的系统和方法在审
申请号: | 201610088065.5 | 申请日: | 2016-02-17 |
公开(公告)号: | CN105719990A | 公开(公告)日: | 2016-06-29 |
发明(设计)人: | J·B·衡;肖春光;闫冬至;周建胜;黄志铨;徐征 | 申请(专利权)人: | 喜瑞能源公司;杭州赛昂电力有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 陈华成 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及用于改进太阳能电池的制造成品率的系统和方法。描述了用于在大规模的太阳能电池制备设施中制备太阳能电池的系统。所述系统包括第一处理站、第二处理站和位于第一处理站和第二处理站之间的晶片储存装置。晶片储存装置内的微环境基本上与大规模的太阳能电池制备设施的大环境分隔开,并且微环境被过滤以减少化学物、水分和挥发性有机化合物。晶片储存装置被配置为暂时存储从第一处理站出来并排队等待在第二处理站进行处理的晶片。 | ||
搜索关键词: | 用于 改进 太阳能电池 制造 成品率 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种用于在大规模的太阳能电池制备设施中制备太阳能电池的系统,所述系统包括:第一处理站;第二处理站;以及位于所述第一处理站和所述第二处理站之间的晶片储存装置,其中所述晶片储存装置内的微环境基本上与所述大规模的太阳能电池制备设施的大环境分隔开,其中所述晶片储存装置被净化过的氮气填充,并且其中所述晶片储存装置被配置为暂时存储从所述第一处理站出来并且排队等待在所述第二处理站进行处理的晶片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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