[发明专利]阶段性变压精馏塔回收光刻胶剥离液的方法

摘要

本发明涉及一种阶段性变压精馏塔回收光刻胶剥离液的方法，其具体步骤为：(1)向光刻胶剥离液中加入活性炭脱色并吸附金属离子，经分离后，得到初级再生液；(2)所得初级再生液在氮气氛和抗氧化剂保护下经过常压精馏、低真空精馏、高真空精馏和正压精馏四次精馏得到光刻胶剥离液合格品；本发明的有益效果：本发明所述方法包括负压、常压、正压三种方法的合作使用，不仅可以应对低沸点的溶剂，也可以针对高沸点溶剂，对于沸点接近的溶剂也可以应对，达到很好的分离效果；该方法不仅将光刻胶剥离液废液中所含的光刻胶组分和光刻胶剥离液组分分离出来，使其分离物再应用于工业化生产，而且具有工艺简单和分离高效的特点。

主权项

1.阶段性变压精馏塔回收光刻胶剥离液的方法，其特征在于：其具体步骤为：(1)向光刻胶剥离液中加入活性炭脱色并吸附金属离子，经分离后，得到初级再生液；(2)所得初级再生液在氮气氛和抗氧化剂保护下经过四次精馏得到光刻胶剥离液合格品；所述步骤2中四次精馏依次为：(1)常压精馏；(2)低真空精馏；(3)高真空精馏；(4)正压精馏；所述常压精馏温度范围值为79～86℃，所述低真空精馏温度值为100℃，所述低真空气压值为‑0.1MPa，所述高真空精馏过程中的气压值为‑0.06MPa，所述正压精馏过程中的气压值为4MPa。