[发明专利]集成MOS场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201610089519.0 申请日: 2016-02-18
公开(公告)号: CN105514196B 公开(公告)日: 2017-04-05
发明(设计)人: 朱桂林 申请(专利权)人: 苏州佳亿达电器有限公司
主分类号: H01L31/042 分类号: H01L31/042;H01L31/18
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 代理人: 史霞
地址: 215151 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种集成MOS场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法,包括步骤一、提供一绝缘衬套,其内设置有矩形凹腔,在所述凹腔的底部配置第一导电型的衬底;步骤二、在所述衬底的上端配置第一导电型的外延层;步骤三、在所述外延层的上部配置四个第二导电型的体区,四个所述体区设置有两组漏极和源极,每组漏极和源极之间设置有栅极;步骤四、形成四个独立的MOS场效应管;步骤五、将电池板底部与所述衬套底部连接;步骤六、将电池板与漏极和源极连接。本发明解决了太阳能电池板交直流电能转换不便的技术问题。
搜索关键词: 集成 mos 场效应 逆变器 太阳能 电池板 制造 方法
【主权项】:
一种集成MOS场效应管逆变器的太阳能电池板的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、提供一绝缘衬套,其内设置有矩形凹腔,在所述凹腔的底部配置第一导电型的衬底;步骤二、在所述衬底的上端配置第一导电型的外延层,所述外延层的上端与所述凹腔的上端齐平;步骤三、在所述外延层的上部配置四个第二导电型的体区,四个所述体区设置有两组漏极和源极,每组漏极和源极之间设置有栅极;步骤四、在所述衬底和外延层上的宽度方向开设有第一绝缘沟道,同时在所述衬底和外延层上的长度方向开设有第二绝缘沟道,形成四个独立的MOS场效应管,所述第一、第二绝缘沟道的深度与所述凹腔的深度一致;步骤五、将电池板底部与所述衬套底部连接;步骤六、将所述电池板的上电极分别与第一和第三个场效应管的漏极连接,第一个场效应管的源极与第二个场效应管的漏极连接,第三个场效应管的源极与第四个场效应管的漏极连接,第二和第四个场效应管的源极分别与所述电池板的下电极连接。
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