[发明专利]用于传感器的微加热设备以及传感器有效
| 申请号： | 201610090396.2 | 申请日： | 2016-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN105911102B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | H·格鲁特杰克;H·韦伯;R·菲克斯;I·西蒙;T·S·弗赖;R·M·哲尔菲 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于传感器的微加热设备，所述微加热设备具有：衬底；膜片，其中，所述膜片的覆盖区域至少部分跨越由所述衬底至少部分包围的空腔并且所述膜片的至少一个边缘区域直接或间接地固定在所述衬底的表面上；至少一个布置在所述膜片上和/或中的加热线路，所述至少一个加热线路至少具有各至少一个布置在所述覆盖区域上和/或中的散热区段、各一个布置在所述覆盖区域上和/或中的第一输送线路区段和各一个布置在所述覆盖区域上和/或中的第二输送线路区段；其中，所述第一输送线路区段的第一宽度从由所述第一输送线路区段接触的散热区段出发直至由所述第一输送线路区段接触的边缘区域地增大。本发明同样涉及一种传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传感器 加热 设备 以及 | ||
【主权项】：
一种用于传感器的微加热设备，所述微加热设备具有：衬底(10)；膜片(12)，其中，所述膜片(12)的覆盖区域(12a)至少部分跨越由所述衬底(10)至少部分包围的空腔(14)并且所述膜片(12)的至少一个边缘区域(12b)直接或间接地固定在所述衬底(10)的表面(10a)上；至少一个布置在所述膜片(12)上和/或中的加热线路(16)，所述至少一个加热线路至少具有各至少一个布置在所述覆盖区域(12a)上和/或中的散热区段(18)、各一个布置在所述覆盖区域(12a)上和/或中的第一输送线路区段(20a)和各一个布置在所述覆盖区域(12a)上和/或中的第二输送线路区段(20b)；其特征在于，所述第一输送线路区段(20a)的第一宽度(b1)从由所述第一输送线路区段(20a)接触的散热区段(18)出发直至由所述第一输送线路区段(20a)接触的边缘区域(12b)地增大。
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