[发明专利]一种晶元在线监测方法及装置

摘要

本发明提供的晶元在线监测方法，首先获取多个晶元的多个测试数据，然后根据每个晶元的测试数据的最大值和最小值之差值判断单个晶元是否出现问题，从而对单个晶元进行报警；此外，还根据每个晶元的测试均值是否超出阈值进行报警，用于监测不同晶元之间的异常，从而实现了对单个晶元以及不同晶元之间的在线监测，提高了监测效率和监测精度。此外，该方案中还计算除了多个质量监测参数Cp、Cpu、Cpl、Cpk、Ca，综合监测晶元的质量状况，通过图表直观的进行显示，提供便利的操作方式。

主权项

一种晶元在线监测方法，其特征在于，包括如下步骤：实时获取多个晶元的测试数据，每个晶元对应多个测试数据；计算每个晶元对应的测试数据的最大值和最小值之差值；判断所述差值是否超出预设差值阈值，若超出则对该晶元进行预警；根据每个晶元对应的多个测试数据计算每个晶元的测试均值；判断所述测试均值是否超出第一阈值，若超出第一阈值则进行第一报警处理。