[发明专利]用于高性能涂层的沉积的方法以及封装的电子器件

摘要

公开了一种用于高性能涂层的沉积的方法以及封装的电子器件。该方法提供光学功能或保护底层免于暴露于氧和水蒸气。也公开了新颖的器件，该器件可以包括多层保护结构和AMOLED显示、OLED照明或光伏器件。保护性多层结构本身可以通过在衬底上连续沉积至少三个非常薄的材料层而制成，所述非常薄的材料层具有不同的密度或组分。在沉积这种膜的一些方法中，各层通过改变膜的每单位厚度的离子轰击的能量来沉积。结构的任何层可以包括以下材料中的一个或多个氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、或金属氮化物或氧化物。由此获益的特定商业用途包括光伏器件或包括照明和显示的有机发光二极管(OLED)器件的制造。

主权项

一种用于将涂层形成于在底座(1010)之上移动的衬底(1062)上的装置，其中底座(1010)通过阻抗(Z)接地，包括：两个细长电极(1051、1052)，每个电极比其宽度长，其中宽度是沿着衬底运动的方向测量的，所述电极(1051、1052)之间的第一间隙，每个电极(1051,1052)和衬底(1062)之间的第二间隙，第一歧管(1054)，用于注入反应气体或混合物在电极(1051,1052)之间朝向衬底(1062)流下，第二歧管(1057)，用于将用于膜沉积的至少一种前体的气体注入进入向下流动的反应气体或混合物中，第一电源(1058)，以大于90°的相位角将第一AC功率传送给电极(1051,1052)，将大部分功率会聚到电极(1051,1052)之间的第一间隙中的第一等离子体(1067)，以及第二电源(1063)，将第二AC功率更同相地传送给电极(1051,1052)，该第二电源将其功率的大部分提供到电极(1051,1052)和衬底(1062)之间的第二间隙中的第二等离子体(1068)。