[发明专利]载荷测定装置以及载荷测定方法

摘要

本发明提供一种能够准确地测定施加于晶片等基板的辊型清洗件的载荷的载荷测定装置。载荷测定装置具备：防水型测压元件(30)，该防水型测压元件(30)具有与基板(W)的直径相同的长度的载荷测定面(30a)以及支承防水型测压元件(30)的基台板(31)。该载荷测定装置与基板(W)相同地安设于基板清洗装置，通过防水型测压元件(30)测定从基板清洗装置的辊型清洗件(7)承受的载荷。

主权项

1.一种载荷测定装置，用于测定从基板清洗装置的辊型清洗件施加于基板的载荷，该载荷测定装置的特征在于，具备：防水型测压元件，该防水型测压元件包括具有与要被清洗的所述基板的直径大致相同的长度的长形的载荷测定面，所述载荷通过所述基板清洗装置的所述辊型清洗件施加于所述基板上；以及基台板，该基台板在其中央部具有凹部，所述凹部容纳所述防水型测压元件，其中，所述防水型测压元件的所述长形的载荷测定面被构造成由要被用于清洗所述基板的所述基板清洗装置的所述辊型清洗件直接按压，同时清洗液被供给至所述辊型清洗件，从而测定由所述辊型清洗件施加于所述防水型测压元件的所述载荷。