[发明专利]用于制造包括外部互连引脚的3D电子模块的工艺有效
申请号: | 201610095257.9 | 申请日: | 2016-02-22 |
公开(公告)号: | CN105914153B | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | A·瓦尔;F·苏夫莱 | 申请(专利权)人: | 3D加公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L25/00;H01L23/495 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 法国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及用于制造包括外部互连引脚的3D电子模块的工艺,包括下列步骤:‑引脚框包括金属引脚,将引脚折叠大约180°,从而获得称为内部框部分的部分,每个引脚的两个端部在给定的面上从3D模块露出;‑在引脚上沉积金属涂层;‑将框的外部部分放置在下和上两个保护元件之间,并且将框和保护元件放置在承载体上;‑放置各自装配有外部互连端片的堆叠,以便将外部端片叠加到内部部分上;‑在树脂中模塑堆叠、外部端片以及内部部分;‑切割树脂,从而留下齐平的外部端片和引脚的端部的导电段;‑金属化切割面;‑移除承载体;以及‑移除保护元件,以便暴露外部部分的引脚。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 包括 外部 互连 引脚 电子 模块 工艺 | ||
【主权项】:
一种用于制造至少一个3D电子模块(1)的工艺,所述3D电子模块各自包括电子封装(41)和/或印刷电路板在Z方向上的堆叠(40),所述堆叠放置在用于将3D模块与外部进行电性互连的系统上,该系统包括各自具有两个端部的金属引脚(10),所述工艺的特征在于,其包括下列步骤:‑从引脚框(100)开始,该引脚框包括金属引脚(10),该金属引脚各种具有两个端部,一个端部朝向框的内部,另一个端部朝向框的外部,将引脚(10)的内部端部折叠大约180°,从而获得称为内部框部分(11)的部分,该内部框部分包括折叠的端部,该折叠的端部旨在进行模塑,称为外部部分的另一部分(12)包括未折叠的外部端部,每个引脚的两个端部旨在在沿着Z切割的给定的面上从3D模块露出;‑在这样地折叠的引脚(10)上沉积与接下来的外部部分的粘合和/或焊接相兼容的金属涂层;‑将金属化了的框的外部部分(12)放置在下保护元件(22)与上保护元件(21)之间,而使内部部分(11)不进行这样的放置,并且将框(100)和保护元件(21、22)放置在承载体(30)上;‑放置各自装配有至少一个电子部件以及用于将封装和/或印刷电路板电性互连的外部端片(42)的封装(41)和/或印刷电路板的每个堆叠(40),从而将外部端片(42)叠加到内部部分(11)上;‑在环氧树脂(60)中模塑堆叠(40)、外部端片(42)以及内部部分(11),从而部分覆盖上保护元件(21);‑沿着Z切割树脂(60),从而留下齐平的外部端片(42)和内部部分(11)的引脚的端部(110)的导电段,并从而形成沿着Z切割的面(43),以及从上保护元件(21)移除树脂(60);‑将现出导电段的切割的面(43)金属化;‑移除承载体(30);以及‑移除保护元件(21、22),以便暴露外部部分(12)的引脚。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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