[发明专利]一种无硼超纯水的制备方法

摘要

本发明公开了一种无硼超纯水的制备方法，将自来水依次经过超滤、反渗透、EDI装置、UV生物降解、除硼工艺和抛光树脂处理，得到所述无硼超纯水；其中，所述除硼工艺包括多元醇络合反渗透除硼和两级硼特效树脂除硼。本发明制得的超纯水，其硼元素含量小于100PPT，其他元素含量均可达到PPT级，是一种综合性能优异的超纯水，是制备半导体行业超纯化学材料的理想水源。本发明一种无硼超纯水的制备方法，工艺简便，容易实现，其通过多种处理方法联合并用，有效控制水中各物质的含量，并降低工艺成本，制备出高品质PPT级超纯水；通过分步除硼工艺，彻底去除超纯水中顽固的硼杂质，克服了行业难题，是超纯水发展的里程碑。

主权项

1.一种无硼超纯水的制备方法，其特征在于，将自来水依次经过超滤、反渗透、EDI装置、UV生物降解、除硼工艺和抛光树脂处理，得到所述无硼超纯水；其中，所述除硼工艺包括多元醇络合反渗透除硼和两级硼特效树脂除硼；所述多元醇络合反渗透除硼的方法为：自来水经UV生物降解处理后，调节其pH值至酸性，然后向其中加入一定量多元醇，搅拌均匀后经反渗透膜过滤除硼；所述两级硼特效树脂除硼方法为：将经多元醇络合反渗透除硼后的自来水引入一级硼特效树脂除硼，然后调节自来水的pH值为8 .5～9 .5，再引入二级硼特效树脂除硼；所述一级硼特效树脂为没食子酸接枝强酸性阴离子交换树脂；所述二级硼特效树脂为2 ,3‑二羟基萘‑6‑磺酸钠接枝强碱性阴离子交换树脂。