[发明专利]利用已知形状薄片自动S/TEM采集和计量的图形匹配

摘要

本发明涉及利用已知形状薄片自动S/TEM采集和计量的图形匹配。一种方法，所述方法用于在电子显微镜，如SEM、TEM或STEM中将在薄片中感兴趣区域中的特征自动成像而不需要先行了解待成像特征，因此使得能够通过从第一图像位置步进来获得多个电子显微图像，而不需要使用对单独图像特征的图像识别。通过消除对图像识别的需要，可以获得图像采集率的实质性增加。

主权项

一种将薄片窗口上的感兴趣区域中的特征在透射电子显微镜（TEM）中自动成像而不需要了解待成像的所述特征的方法，包括：在TEM中的TEM栅格上提供具有已知几何形状的薄片；引导电子束朝向所述TEM栅格以形成包括所述薄片窗口的图像；确定所述图像内的所述薄片窗口的周界；确定所述感兴趣区域的取向，其中所述感兴趣区域的取向限定步进方向；获得所述感兴趣区域的一部分的第一图像以辨认所述感兴趣区域的一部分；以及通过从所述第一图像的位置沿所述步进方向步进来获得多个图像，以获得所述感兴趣区域的部分的多个图像，其中获得所述多个图像而不使用对所述感兴趣区域中的待查看的单独特征的图像识别。